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发明名称 METHOD OF AND APPARATUS FOR MEASURING PATTERN PROFILE
摘要
申请公布号 EP0441375(A3) 申请公布日期 1992.12.16
申请号 EP19910101684 申请日期 1991.02.07
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KAGA, YASUHIRO;HATTORI, KEI;HASEGAWA, ISAHIRO;KOMATSU, FUMIO
分类号 G01Q30/02;G01B15/00;G01Q30/04;(IPC1-7):G01B15/00;H01J37/26 主分类号 G01Q30/02
代理机构 代理人
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