发明名称 DIFFUSION OF ZN INTO GAAS
摘要
申请公布号 JPH04364027(A) 申请公布日期 1992.12.16
申请号 JP19910165113 申请日期 1991.06.10
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 YOSHIMURA MASASHI
分类号 H01L21/22;H01L29/80 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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