发明名称 |
PRESSURE TRANSDUCERS AND METHOD OF MANUFACTURING SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0468098(A3) |
申请公布日期 |
1992.12.16 |
申请号 |
EP19900125350 |
申请日期 |
1990.12.22 |
申请人 |
DATA INSTRUMENTS GMBH |
发明人 |
ERICHSEN, HERMAN W.;PANAGOTOPULOS, LOUIS J. |
分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;G01L9/06;G01L19/14;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 |
主分类号 |
G01L9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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