DEVICE FOR PLASMA PROCESSING OF CONDUCTING WAFERS,申请号EP19890401053-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR PLASMA PROCESSING OF CONDUCTING WAFERS
摘要
申请公布号	EP0338905(B1)	申请公布日期	1992.12.16
申请号	EP19890401053	申请日期	1989.04.17
申请人	FRANCE TELECOM	发明人	STRABONI, ALAIN;VUILLERMOZ, BERNARD;BERENGUER, MARC
分类号	H01L21/00	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
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