发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04364058(A) 申请公布日期 1992.12.16
申请号 JP19910138870 申请日期 1991.06.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KIKUYAMA SEIICHIRO
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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