发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04361528(A) 申请公布日期 1992.12.15
申请号 JP19910136882 申请日期 1991.06.10
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 WATANABE MASAHIDE
分类号 H01L21/223;H01L21/265;H01L21/76 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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