发明名称 METHOD OF TESTING DIELECTRIC BREAKDOWN STRENGTH OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04361549(A) 申请公布日期 1992.12.15
申请号 JP19910137450 申请日期 1991.06.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAGI HISASHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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