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发明名称 CONTROL DEVICE FOR WAFER TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04361519(A) 申请公布日期 1992.12.15
申请号 JP19910164948 申请日期 1991.06.10
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKUMA HARUNOBU;HIURA KAZUO
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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