| 发明名称 |
PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04362100(A) |
申请公布日期 |
1992.12.15 |
| 申请号 |
JP19910162263 |
申请日期 |
1991.06.06 |
| 申请人 |
NIKKO KYODO CO LTD |
发明人 |
IKUWA MITSUAKI;IMAIZUMI TOYOAKI;KAISOU TAKASHI |
| 分类号 |
C30B29/40;C30B31/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B29/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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