| 发明名称 |
COOLING METHOD AND APPARATUS FOR MAGNETRON SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5171415(A) |
申请公布日期 |
1992.12.15 |
| 申请号 |
US19900631578 |
申请日期 |
1990.12.21 |
| 申请人 |
NOVELLUS SYSTEMS, INC. |
发明人 |
MILLER, KENNETH C.;BROADBENT, ELIOT K. |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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