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发明名称
CONTROL MECHANISM OF SERVO VALVE
摘要
申请公布号
JPH04362302(A)
申请公布日期
1992.12.15
申请号
JP19910136750
申请日期
1991.06.07
申请人
RES DEV CORP OF JAPAN;EBARA CORP;EBARA RES CO LTD
发明人
EN SEIHOU;MIYAGAWA SHINPEI
分类号
F15B13/043;F15B5/00;H01L41/09
主分类号
F15B13/043
代理机构
代理人
主权项
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