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发明名称 OPTICAL LITHOGRAPHIC DEVICE HAVING A MACHINE FRAME WITH FORCE COMPENSATION
摘要
申请公布号 US5172160(A) 申请公布日期 1992.12.15
申请号 US19910784286 申请日期 1991.10.29
申请人 U.S. PHILIPS CORP. 发明人 VAN EIJK, JAN;VAN ENGELEN, GERARD;COX, HENDRIKUS H. M.;BEEKMAN, HENRICUS E.;JACOBS, FRANSISCUS M.
分类号 F16F15/03;F16H21/10;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H02P25/06 主分类号 F16F15/03
代理机构 代理人
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