发明名称 COOLING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH04360564(A) 申请公布日期 1992.12.14
申请号 JP19910136254 申请日期 1991.06.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKADA KENICHI;AMAMIYA KYOKO;TERABAYASHI TAKAO
分类号 H01L23/473 主分类号 H01L23/473
代理机构 代理人
主权项
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