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发明名称 GROWTH METHOD OF POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 JPH04360521(A) 申请公布日期 1992.12.14
申请号 JP19910136372 申请日期 1991.06.07
申请人 NEC CORP 发明人 NAKATANI TSUNEJI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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