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经营范围
发明名称
CHARGED BEAM IRRADIATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH04360516(A)
申请公布日期
1992.12.14
申请号
JP19910136249
申请日期
1991.06.07
申请人
NIKON CORP
发明人
NAKASUJI MAMORU;MORITA KENJI
分类号
H01L21/027;G03F7/20;H01L21/30
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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