发明名称 CHARGED BEAM IRRADIATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04360516(A) 申请公布日期 1992.12.14
申请号 JP19910136249 申请日期 1991.06.07
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKASUJI MAMORU;MORITA KENJI
分类号 H01L21/027;G03F7/20;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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