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发明名称 CUBIC SYSTEM BORON NITRIDE SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04360509(A) 申请公布日期 1992.12.14
申请号 JP19910163678 申请日期 1991.06.07
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TOMIKAWA TADASHI;FUJITA NOBUHIKO;TODA NAOHIRO;NAKAYAMA AKIRA
分类号 C30B29/38;H01L21/02 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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