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发明名称 HEAT TREATMENT FURNACE FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04360524(A) 申请公布日期 1992.12.14
申请号 JP19910136496 申请日期 1991.06.07
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 BENZAKI KIYOTAKA
分类号 H01L21/22;H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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