CORRECTING METHOD FOR POSITION OF X, Y, Z AXIS TABLE TAKING DEFLECTION INTO CONSIDERATION,申请号JP19910162469-传众专利搜索

发明名称	CORRECTING METHOD FOR POSITION OF X, Y, Z AXIS TABLE TAKING DEFLECTION INTO CONSIDERATION
摘要
申请公布号	JPH04361194(A)	申请公布日期	1992.12.14
申请号	JP19910162469	申请日期	1991.06.07
申请人	TSUBAKIMOTO CHAIN CO	发明人	SAKURA SHUNJI;HIRAI TATSUYA;SANADA ARIYASU
分类号	G12B5/00	主分类号	G12B5/00
代理机构		代理人
主权项
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