发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04360542(A) |
申请公布日期 |
1992.12.14 |
申请号 |
JP19910162381 |
申请日期 |
1991.06.07 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
AHEI TADASHI;MIZUTANI HIDEMASA |
分类号 |
H01L27/12;H01L21/28;H01L21/336;H01L27/146;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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