发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04359543(A) 申请公布日期 1992.12.11
申请号 JP19910134574 申请日期 1991.06.06
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 KITAO ICHIRO
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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