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发明名称 FORMATION METHOD OF FLAT WIRING LAYER
摘要
申请公布号 JPH04359544(A) 申请公布日期 1992.12.11
申请号 JP19910160773 申请日期 1991.06.06
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMAMOTO EIICHI;MAEDA MASAHIKO;ARITA MUTSUNOBU;SATO MASAAKI
分类号 H01L21/283;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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