| 发明名称 |
TEMPERATURE MEASURING DEVICE FOR HEATED BODY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04359125(A) |
申请公布日期 |
1992.12.11 |
| 申请号 |
JP19910161025 |
申请日期 |
1991.06.05 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
IMAHASHI KAZUNARI;YAZAWA MINORU |
| 分类号 |
G01J5/00;G01K1/20;G01K7/00;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324 |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
