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发明名称 THIN-FILM SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04359514(A) 申请公布日期 1992.12.11
申请号 JP19910134572 申请日期 1991.06.06
申请人 NEC CORP 发明人 YANASE SATOYUKI
分类号 C23C14/34;C23C14/50;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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