| 发明名称 |
DISPLACEMENT ELEMENT, INTEGRATED ACTUATOR, SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE AND INFORMATION PROCESSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04359575(A) |
申请公布日期 |
1992.12.11 |
| 申请号 |
JP19910160917 |
申请日期 |
1991.06.06 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SUZUKI YOSHIO;KASANUKI YUJI;YAMAMOTO KEISUKE;YAGI TAKAYUKI;NAKAYAMA MASARU |
| 分类号 |
G01B7/34;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q70/06;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01L41/09 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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