| 发明名称 |
PROCEDE DE VAPORISATION REACTIVE DE COUCHES D'OXYDE, DE NITRURE, D'OXYNITRURE ET DE CARBURE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2578270(B1) |
申请公布日期 |
1992.12.11 |
| 申请号 |
FR19860002713 |
申请日期 |
1986.02.27 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
EBERHARD MOLL, HANS KARL PULKER ET WALTER HAAG;PULKER HANS KARL;HAAG WALTER |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/30 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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