| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING THIN AND MULTILAYERED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04358075(A) |
申请公布日期 |
1992.12.11 |
| 申请号 |
JP19910132635 |
申请日期 |
1991.06.04 |
| 申请人 |
MATSUSHITA GIKEN KK |
发明人 |
YAMADA YUKA;MUTO KATSUHIKO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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