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发明名称 TARGET FOR INTEGRAL COMPLEX TYPE SPUTTERING AND MANUFACTURE OF THE SAME
摘要
申请公布号 JPH04358062(A) 申请公布日期 1992.12.11
申请号 JP19910023678 申请日期 1991.01.25
申请人 NIKKO KYODO CO LTD 发明人 SAWADA SUSUMU;KATO YOSHIHARU;KANANO OSAMU;SUMIYA YOSHITAKA
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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