| 发明名称 |
INTEGRATED-CIRCUIT CHECK PATTERN AND ITS CHECK METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04359536(A) |
申请公布日期 |
1992.12.11 |
| 申请号 |
JP19910134576 |
申请日期 |
1991.06.06 |
| 申请人 |
NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD |
发明人 |
OKI YASUSHI |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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