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经营范围
发明名称
MAGNETRON SPUTTERING CATHODE
摘要
申请公布号
JPH04358064(A)
申请公布日期
1992.12.11
申请号
JP19910022814
申请日期
1991.01.23
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
OKUTSU SEIICHI;MAEDA SHINICHIRO
分类号
C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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