发明名称 PROCESS FOR EPITAXIAL GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04357192(A) 申请公布日期 1992.12.10
申请号 JP19910155554 申请日期 1991.05.31
申请人 NIKKO KYODO CO LTD 发明人 IMAIZUMI TOYOAKI
分类号 C30B25/02;C30B25/10 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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