THREE DIMENSIONAL SCANNING SYSTEM

摘要

Appareil et mécanisme de balayage et de calibrage de pièces pour l'inspection de plaques de circuits imprimés et de circuits intégrés. L'invention décrit un procédé d'inspection de petites pièces (30) qui utilise une caméra (22) et deux miroirs rotatifs (16, 18) pour former une image d'un réticule sur lequel un motif précis a été déposé. Un troisième miroir suspendu (14A) est prévu pour visualiser la pièce (30) inspectée sous une autre perspective. Des valeurs d'état d'un système permettent de créer une triangulation de la scène de sorte que certaines dimensions du système peuvent être calibrées. Le procédé et l'apparaeil de l'invention permettent d'éliminer une seconde caméra et d'utiliser une caméra d'imagerie de plus faible résolution et par conséquent plus économique que les systèmes connus antérieurement. En connaissant l'emplacement précis de la caméra et l'accès optique de chaque miroir rotatif, le procédé de l'invention permet l'étalonnage des autres variables d'état du système. Un masque de réticule précis (10) avec des motifs sous forme de points constitue un ensemble supplémentaire d'informations nécessaires au calibrage du système. Le procédé consiste à inspecter le réticule et à prendre les valeurs d'état pendant que le réticule est balayé. En balayant plus d'un motif à points, les valeurs d'état manquantes peuvent être résolues en utilisant une solution trigonomètrique itérative.