| 发明名称 |
EVALUATION OF SILICON SINGLE CRYSTAL ROD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04357200(A) |
申请公布日期 |
1992.12.10 |
| 申请号 |
JP19910027831 |
申请日期 |
1991.01.29 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
IINO EIICHI;FUSEGAWA IZUMI;YAMAGISHI HIROTOSHI |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B33/00;G01N21/00;H01L21/322 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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