CLEANING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER,申请号JP19910132632-传众专利搜索

发明名称	CLEANING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	JPH04357836(A)	申请公布日期	1992.12.10
申请号	JP19910132632	申请日期	1991.06.04
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	MATSUMOTO MICHIICHI;ONISHI TERUTO
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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