发明名称 METHOD OF POST-PURGE CONTROL
摘要
申请公布号 JPH04356615(A) 申请公布日期 1992.12.10
申请号 JP19910156256 申请日期 1991.05.31
申请人 NORITZ CORP 发明人 MORISHITA ATSUHIRO;IKEDA YOSHITOMO;FUKUHARA AKIRA;IKEDA HIROSHI;HARAMAKI SATORU;HOU TAKAO;FUKUI HIDEKAZU;HAMADA MAKOTO;YOSHIDA AKIRA;TACHIBANA TOSHIKI;FUJIWARA KATSUHIRO
分类号 F23N5/20 主分类号 F23N5/20
代理机构 代理人
主权项
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