| 摘要 |
<p>Un appareil de mesure de surfaces, de profils ou de textures comprend un interféromètre à réseau comportant un réseau en courbe (300) porté sur un bras support pivotant (120, 123) qui porte à son autre extrémité une sonde (130) venant en contact avec une surface, amenée en contact avec celle-ci par une bobine électromagnétique (410) agissant sur un induit (420), ou une paire de tels éléments de sollicitation. Une diode laser (310) éclaire le réseau (300) afin de produire une paire de premiers faisceaux diffractés du premier ordre, de signe opposé qui sont réfléchis depuis les faces internes d'un prisme (316) et combinés par une couche centrale dichroïque (335) dudit prisme et une paire de diviseurs de faisceau (340a, 340b). Les signaux de sortie des diviseurs de faisceau sont amenés à un circuit de traitement de signaux comportant un compteur de franges (600) et un interpolateur (700), le compteur de franges détectant les passages par zéro des signaux et l'interpolateur (700) maintenant une estimation numérique de la phase des signaux et actualisant l'estimation lorsque la différence de phase entre l'estimation et les signaux d'entrée dépasse un seuil prédéterminé. L'interpolateur comprend un compteur numérique (721) dont la sortie comporte les bits de poids faible du signal de sortie numérique pour lequel la sortie du compteur de franges comporte les bits de poids fort.</p> |
