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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04357834(A) 申请公布日期 1992.12.10
申请号 JP19910132765 申请日期 1991.06.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ESHITA TAKASHI;INOUE RIICHI;TAKASAKI KANETAKE;OGAWA TSUTOMU
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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