ELECTROSTATIC ACTUATOR AND CONTROLLING METHOD THEREOF

摘要

Actuateur électrostatique comportant un capteur détectant une position ainsi que la répartition de charges électriques sans altération de ses propriétés particulières et pouvant être, en outre, entraîné avec efficacité à haute vitesse. Cet actuateur comporte un premier élément (5) présentant plusieurs électrodes (2) d'attaque en bande, un deuxième élément (6) en contact avec le premier; un dispositif de commande (9) de déplacement de l'un au moins des premier et deuxième éléments par commutation des tensions appliquées de l'une à l'autre des électrodes d'attaque; des électrodes de détection (4) positionnées à des intervalles de phases prédéterminées et isolées des électrodes d'attaque (2) du premier élément (5); un système de détection de la position du deuxième élément et de l'état de répartition des charges électriques induites, par détection des signaux électriques induits aux électrodes de détection (4) par la répartition des charges électriques du deuxième élément (6).