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经营范围
发明名称
ETCHING SOLUTION OF THIN TANTALUM METAL FILM
摘要
申请公布号
JPH04356925(A)
申请公布日期
1992.12.10
申请号
JP19910130914
申请日期
1991.06.03
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
INOUE MAYUMI;MATSUNAGA KOJI;MATSUOKA TOMIZO
分类号
H01L21/308;C23F1/26
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
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