发明名称 TEMPERATURE MEASURING DEVICE OF VAPOR-DEPOSITION METALLIC MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH04354871(A) 申请公布日期 1992.12.09
申请号 JP19910157708 申请日期 1991.05.31
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 KAWADA SHOJI;KAKIMOTO EIICHI;INOKUCHI TSUGIO;KIHARA ATSUSHI
分类号 C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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