发明名称 INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04355941(A) 申请公布日期 1992.12.09
申请号 JP19910009083 申请日期 1991.01.29
申请人 TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK 发明人 KUJI MOTOHIRO
分类号 G12B5/00;H01L21/66 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
地址