| 发明名称 |
ARC EVAPORATING SOURCE DEVICE OF ARC ION PLATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04354864(A) |
申请公布日期 |
1992.12.09 |
| 申请号 |
JP19910125954 |
申请日期 |
1991.05.29 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
MUNEMASA ATSUSHI;KUMAKIRI TADASHI;TANAKA TATSUYA |
| 分类号 |
C23C14/32;C23C14/54;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/30 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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