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发明名称 ESS FOR PRODUCING THIN FILMS AND COLOR FILTERS
摘要
申请公布号 US5169672(A) 申请公布日期 1992.12.08
申请号 US19910643779 申请日期 1991.01.22
申请人 IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 发明人 HARIMA, YUTAKA;YAMASHITA, KAZUO;YOKOYAMA, SEIICHIRO;KURATA, HIDEAKI
分类号 B05D1/18;B05D3/06;G02B5/20;G02B5/22;H01L31/0216 主分类号 B05D1/18
代理机构 代理人
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