发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04354134(A) 申请公布日期 1992.12.08
申请号 JP19910128064 申请日期 1991.05.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INOUE YASUTAKE
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
地址