METODO PARA SUMINISTRAR GAS HELIO DE ULTRA-ALTA PUREZA A UN PUNTO DE USO

摘要

La presente invención se refiere a un método para suministrar gas helio a un punto de uso, caracterizado porque comprende: (A) proveer helio gaseoso dentro de un recipiente de almacenamiento que contiene helio frío; (B) hacer pasar el helio gaseoso en relación de intercambio de calor con el helio frío, para (i) calentar el helio frío; (ii) incrementar o mantener la presión de helio; y (iii) condensar y/o solidificar las impurezas fuera del helio gaseoso; (C) extraer gas helio de ultra-alta pureza que comprende helio calentado resultante y helio gaseoso limpiado, desde el recipiente de almacenamiento; y (D) proveer gas helio de ultra-alta pureza a un punto de uso sin necesidad de presurización ulterior; conteniendo dicho gas helio menos de 10 ppm de impurezas.