| 发明名称 |
SCANNING DEVICE FOR OPTICALLY SCANNING A SURFACE ALONG A LINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5170037(A) |
申请公布日期 |
1992.12.08 |
| 申请号 |
US19910642249 |
申请日期 |
1991.01.16 |
| 申请人 |
U.S. PHILIPS CORP. |
发明人 |
VAN AMSTEL, WILLEM D.;HORIJON, JOSEPH L. |
| 分类号 |
G02B26/12;G01N21/89;G02B26/10;G02B27/00;G06K7/10;H01L21/00;H01L21/68 |
主分类号 |
G02B26/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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