发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 US5170230(A) 申请公布日期 1992.12.08
申请号 US19900521404 申请日期 1990.05.10
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 TAKIKAWA, MASAHIKO
分类号 H01L21/76;H01L21/205;H01L21/338;H01L27/095;H01L29/205;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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