| 发明名称 |
METHOD OF AND APPARATUS FOR MEASURING OSCILLATION OF THE OUTSIDE DIAMETER OF A MELT SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5170061(A) |
申请公布日期 |
1992.12.08 |
| 申请号 |
US19910693171 |
申请日期 |
1991.04.29 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY, LIMITED |
发明人 |
BABA, MASAHIKO |
| 分类号 |
G01H9/00;C30B15/20;C30B15/26;G06T1/00;G06T7/60;H01L21/208 |
主分类号 |
G01H9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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