发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRODE METAL LAYER AND WIRING METAL LAYER
摘要
申请公布号 JPH04352324(A) 申请公布日期 1992.12.07
申请号 JP19910125763 申请日期 1991.05.29
申请人 NEC CORP 发明人 NAGANO NOBUO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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