| 发明名称 |
RESIST COATER AND RESIST COATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04352316(A) |
申请公布日期 |
1992.12.07 |
| 申请号 |
JP19910126308 |
申请日期 |
1991.05.30 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU TOHOKU ELECTRON:KK |
发明人 |
TSUNODA YASUHIRO |
| 分类号 |
B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027 |
主分类号 |
B05C11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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