发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04352318(A) 申请公布日期 1992.12.07
申请号 JP19910126034 申请日期 1991.05.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 OSAKABE AKIHIKO;TAKASE MAKOTO
分类号 H01L21/20;H01L21/76;H01L21/761 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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